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擴散泵使用 Agilent SY 和 SANTOVAC 5 泵油。Agilent SY 是一種高質量、低成本的合成有機化合物。低蒸氣壓特性使其能夠實現低至 10-8 Torr 范圍的極限真空度。SANTOVAC 5 具有超低蒸氣壓，使其能夠實現 10-10 Torr 范圍的極限真空度和低返油率。Santovac 5真空油具有極低的蒸汽壓，可以使泵得到接近極限的真空度；適合擴散泵，不需要任何類型的液氮冷阱；100％五環聚酯醚。
這種合成液體為聚苯醚，是從最初作為航天器潤滑油的液體開發出來的。它擁有超低的蒸汽壓力和*的熱穩定性，并且表面潮濕的速度和“擴散”范圍要小于大多數液體。這種液體可用于低于 10 -9 mbar 的極為清潔的高真空和超高真空應用（例如，電子顯微鏡、質譜分析儀和表面物理研究），具有優異的高真空性能并且不易滲入到泵系統內部，因此尤其推薦在這些領域中使用。在正常操作溫度下，該液體化學穩定性強、無腐蝕性且安全無毒。液體分解產物（由于聚合反應等因素）一般是導電的。由于潤滑性能優良，該液體可用來對真空系統中的機構進行潤滑。